Un laser sans gaz pourrait bien révolutionner la production de puces électroniques
Des chercheurs chinois ont développé un laser à état solide capable de générer un faisceau ultraviolet à 193 nm, sans recourir à l'utilisation de gaz. Cette innovation pourrait mettre fin à la dépendance aux gaz coûteux et dangereux dans le processus de fabrication des puces électroniques.
Une révolution dans la fabrication des téléphones, ordinateurs et autres appareils électroniques ? Des chercheurs de l'Académie chinoise des sciences (CAS) ont fait une avancée majeure dans le domaine des lasers à ultraviolet profond (DUV), utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs.
Un article publié dans le journal de la Société internationale pour l'optique et la photonique (SPIE) révèle, dimanche 23 mars, que ces scientifiques ont mis au point un laser à état solide, capable d'émettre un faisceau de 193 nanomètres (nm), soit une longueur d'onde essentielle dans la photolithographie, un processus clé pour la production de puces électroniques.
La photolithographie moderne permet de graver des motifs minuscules sur des tranches de silicium, nécessaires à la création de circuits intégrés dans les puces électroniques. Traditionnellement, des lasers excimères à gaz sont utilisés. Ils émettent de (...)
